Серия | Описание | ||||
---|---|---|---|---|---|
Абсолютные линейные датчики |
|||||
LIC | Класс точности до 3мкм. Дискретность 20нм. Длина шкалы до 28040мм. | ||||
Инкрементальные линейные датчики |
|||||
LIP | Класс точности до 0,5мкм. Дискретность до 0,01нм. Длина шкалы до 3040мм. | ||||
LIF | Класс точности до 1мкм. Дискретность 12нм. Длина шкалы до 3040мм. | ||||
LIDA | Класс точности до 1мкм. Дискретность до 45нм. Длина шкалы до 30040мм. Скорость перемещения до 10м/с. | ||||
PP | Для измерения по двум координатам. Класс точности 2мкм. Дискретность 12нм. Диапазон измерения 68×68мм. |